Lámhainní Ísealchlóraipréine 9 n-orlach Lijiejing: An Caighdeán Nua i gCosaint Ghlan do Mhonarú Leathsheoltóra

I gcomhthéacs na gceanglas "nialas-locht" atá ag éirí níos déine i ndéantúsaíocht leathsheoltóirí, tá lámhainní nítríle íseal-chlóirín 9-orlach Lijie anois ina dtrealamh cosanta fíor-riachtanach i gcéimeanna próiseála vaiféil agus pacáistithe sceallóga mar gheall ar a n-iarmhar ianach íseal agus a bhfeidhmíocht ardghlanachta. Trí phróiseáil speisialaithe, déantar rialú docht ar ábhar clóirín na lámhainní ag ≤50ppm - ag sárú go mór an caighdeán tionscail de 100ppm. Cuireann sé seo cosc ​​​​éifeachtach ar rioscaí creimeadh de bharr imirce ian clóiríde ar dhromchlaí vaiféil, ag freastal ar riachtanais dhiana déantúsaíochta leathsheoltóirí maidir le rialú éillithe micreascópach.

Le linn próiseas litagrafaíochta, bíonn tionchar díreach ag glaineacht lámhainní ar chruinneas sciath fhótafhriotaíochta agus ar thorthaí nochta. Déantar an táirge seo a mhonarú i seomraí glana den Aicme 100,000 agus baintear deannach léasair as, agus taispeánann sé astaíocht cáithníní dromchla faoi bhun 0.2 cáithnín/orlach cearnach—ag comhlíonadh caighdeáin seomra glana ISO Aicme 3. Cuireann sé seo cosc ​​​​éifeachtach ar ghreamaitheacht micrea-cháithníní le dromchlaí vaiféir, rud a laghdaíonn lochtanna litagrafaíochta. Soláthraíonn an dearadh 9 n-orlach clúdach iomlán ón láimh go dtí an pailme. In éineacht le struchtúr cufa leaisteach, cinntíonn sé solúbthacht oibríochtúil agus cuireann sé cosc ​​​​éifeachtach ar dheannach a dhoirteadh ag oscailt an mhuinchille, ag comhlíonadh na gceanglas dian maidir le timpeallachtaí glana dinimiciúla i bpróisis litagrafaíochta.

Le linn próiseas lena mbaineann imoibrithe an-chreimneach amhail greanadh agus ionchlannú ian, léiríonn na lámhainní seo friotaíocht cheimiceach eisceachtúil. Tar éis tástála tumoideachais 24 uair an chloig in imoibrithe leathsheoltóra coitianta amhail aigéad hidreafluarach agus aigéad fosfarach, ní thaispeánann siad aon at ná scoilteadh, le ráta athraithe meáchain faoi bhun 0.8%. Soláthraíonn sé seo cosaint láimhe iontaofa d'oibreoirí agus ag an am céanna deireadh a chur le rioscaí éillithe imoibrithe ó dhamáiste do lámhainní. Tá uigeachtaí frith-shleamhnáin léasair-ghreanta 0.02mm ar bharr na méar, rud a mhéadaíonn frithchuimilt 35% agus sliseáin 12-orlach á láimhseáil agus a laghdaíonn an riosca go sleamhnóidh an sliseán 60%. Baintear amach leis seo cothromaíocht idir sábháilteacht chosanta agus cobhsaíocht oibríochtúil.

Deimhnithe faoi láthair de réir chaighdeáin SEMI F57, úsáidtear na lámhainní seo i línte táirgeachta mais ag teilgcheártaí móra lena n-áirítear SMIC agus Hua Hong Semiconductor. Laghdaíonn siad rátaí dramhaíola vaiféir de bharr teagmhála láimhe faoi 38%, rud a fhágann gur rogha iontach iad i ndéantúsaíocht leathsheoltóirí chun cothromaíocht a bhaint amach idir cosaint seomraí glana agus éifeachtúlacht oibríochtúil.


Am an phoist: 11 Samhain 2025